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低価格にて高精度な測定を実現 |
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高速XYステージ、データ収集が高速 |
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非接触なので検査対象を傷つける心配がありません |
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測定対象物による影響が非常に少ない |
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樹脂製品や黒ゴム、金属の研削加工品あるいは透明なガラスまで測定可能 |
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多様な測定モードで高速に測定 |
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ワークの判定基準値を登録しておくことによりOK,NGを自動判定します |
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XYステージの移動量、ワークを搭載するテーブルの大きさあるいはレーザ変位センサ等自由に指定することが可能です。 |
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お客様でお手持ちのＰＣやレーザ変位計を使用することも可能です |
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ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください） |
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測定エリア：20×20mm～200×200mm,その他ご要求による |
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測定方式：XYスキャニング方式 |
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使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸 |
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分解能： ～0.001μｍ（Max) |
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価格帯：３２０万円～ |
