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トータル価格を抑えて高精度な測定を実現出来ます |
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センサ分解能１ｎｍに応える高精度測定台 |
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エア吸着タイプもございますので、ワークの反りの影響を最小限に抑えて安定した測定が出来ます |
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テーブルサイズは１２インチウェハまで対応致します |
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Ｘ軸ステージで、ワークの搭載位置までテーブルが移動しますので、ワークを傷つけることなくテーブルにセットできます
またθ軸付きの機種はワークを回転させて任意の箇所を測定出来ます |
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小型で場所をとりません |
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ワークに対する直角度や光軸合わせが簡単に出来ます |
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Ｚ軸スライダー搭載により、測定範囲の狭い高精度センサーでも、ストレス無く基準距離の調整が出来ます |
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測定やデータの記録保存に便利なＰＣソフトが用意されてます |
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オプションにて、測定に便利な測定用小物が用意されています |
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ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください） |
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測定エリア：２インチ～１２インチ以上可 |
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測定方式：スキャニング方式 |
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使用可能レーザ変位計：分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸、三角測距 |
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分解能： ～0.001μｍ（Max) |
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価格帯：２５０万円～ |
