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TFL2100 非接触平面度測定装置 　回転軸にエアースピンドルを使用し、驚異の面振れ精度を実現！ 【　　　　機能概要　　　　】 レーザー変位センサを使用して、ワークを回転させながら、ワーク表面の高さ方向の変位量を、非接触で高精度に測定し専用ソフトで２Ｄ表示、３Ｄ表示させて解析するものです。 測定対象物は、厚みの薄いものから厚いもの、また重量の軽い物から重いものまで測定可能です。 【　　　　　特長　　　　　】 ・ 低価格にて高精度な測定を実現 ・ データ収集が高速 ・ 非接触なので検査対象を傷つける心配がありません ・ 測定対象物による影響が非常に少ない ・ 重量物の測定が可能 ・ ベースに石定盤を使用し、回転軸にエアースピンドルを使用して驚異的な面振れ精度を実現しています ・ 写真の装置は外形８００Φ、重量２００Kgまでのワークを搭載できます ・ ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください）   ・ 測定エリア：２インチ～１２インチ以上   ・ 測定方式：回転スキャニング方式   ・ 使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸   ・ 分解能：　～0.001μｍ（Max)   ・ 価格帯：７００万円～ 【　　　　パンフレット　　　　】 非接触平面度測定装置（回転型）　　（PDF 34KB） 　　TFL3100 非接触平面度測定機　 　ＸＹ軸門型でステージの小型化 【　　　　機能概要　　　　】 レーザー変位センサを使用して、ワークを固定させ、 センサを移動させながらワーク表面の高さ方向の変位量を非接触で高精度に測定し専用ソフトで平面度を算出するものです。 測定対象物は、ウェハーから金属の研削加工品あるいは透明なガラスまで測定可能です。 ワークのOK,NGを自動判定する検査機仕様となっています。 【　　　　　特長　　　　　】 ・ 低価格にて高精度な測定を実現 ・ 高速XYステージ、データ収集が高速 ・ 非接触なので検査対象を傷つける心配がありません ・ 測定対象物による影響が非常に少ない ・ ウェハーから金属の研削加工品あるいは透明なガラスまで測定可能 ・ ベースに石定盤を使用していますので、長期間安定した測定が可能 ・ 多様な測定モードで高速に測定 ・ ワークの判定基準値を登録しておくことによりOK,NGを自動判定します ・ ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください）   ・ 測定エリア：200×200mm,300×300mm,その他ご要求による   ・ 測定方式：XYスキャニング方式   ・ 使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸   ・ 分解能：　～0.001μｍ（Max)   ・ 価格帯：２８５万円～ 【　　　　パンフレット　　　　】 非接触平面度測定機（ＸＹ門型）　　（PDF 55KB） 　　TFL3100 非接触平面度測定機　回転型 　小型回転タイプ 【　　　　機能概要　　　　】 レーザー変位センサを使用して、ワークを固定させ たテーブルを回転させながら、ワーク表面の高さ方 向の変位量を非接触で高精度に測定し、専用ソフトで平面度を算出するものです。 測定対象物は、円形平板が適しています。 金属の研削加工品あるいはガラスのような透明なものまで測定可能です。 ワークのOK,NGを自動判定する検査機仕様となっています。 【　　　　　特長　　　　　】 ・ 低価格にて高精度な測定を実現 ・ 測定が高速なので量産の全品チェックに適しています ・ 非接触なので検査対象を傷つける心配がありません ・ 測定対象物による影響が非常に少ない ・ ウェハーから金属の研削加工品あるいは透明なガラスまで測定可能 ・ ワークの判定基準値を登録しておくことによりOK,NGを自動判定します ・ ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください）   ・ 測定エリア：２インチ～１２インチ以上   ・ 測定方式：回転スキャニング方式   ・ 使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸   ・ 分解能：　～0.001μｍ（Max)   ・ 価格帯：２３０万円～   【　　　　パンフレット　　　　】 非接触平面度測定機（小型回転型） 　(PDF 335KB) 　　TFL2100 非接触平面度平行度測定機　 　Ｘθ軸型でステージの小型化 【　　　　機能概要　　　　】 レーザー変位センサを使用して、ワークを回転させながら、ワークの上面及び下面の高さ方向の変位量を非接触で高精度に測定し専用ソフトで平面度と平行度を算出するものです。 測定対象物は、円盤状であれば金属の研削加工品から、樹脂あるいは透明なガラスまで測定可能です。 ワークのOK,NGを自動判定する検査機仕様となっています。 【　　　　　特長　　　　　】 ・ 低価格にて高精度な測定を実現 ・ データ収集が高速 ・ 非接触なので検査対象を傷つける心配がありません ・ 測定対象物による影響が非常に少ない ・ 金属の研削加工品から樹脂あるいは透明なガラスまで測定可能 ・ ワークの判定基準値を登録しておくことによりOK,NGを自動判定します ・ ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください）   ・ 測定エリア：φ150mm～   ・ 測定方式：回転スキャニング方式   ・ 使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸   ・ 分解能：　～0.001μｍ（Max)   ・ 価格帯：４８０万円～   【　　　　パンフレット　　　　】 非接触平面度平行度測定機　　　(PDF 129KB)   　　TFL3200 非接触平面度測定装置　 　センサを複数ヘッド使用して高速測定 【　　　　機能概要　　　　】 レーザー同軸変位センサを複数使用して、高速にワークの高さ方向の変位量を非接触で高精度に測定し専用ソフトで平面度を算出するものです。 測定対象物は、金属の研削加工品から、樹脂あるいは透明なガラスまで測定可能です。 ワークのOK,NGを自動判定する検査機仕様となっています。 【　　　　　特長　　　　　】 ・ 低価格にて高精度な測定を実現 ・ データ収集が高速 ・ 非接触なので検査対象を傷つける心配がありません ・ 測定対象物による影響が非常に少ない ・ 金属の研削加工品から樹脂あるいは透明なガラスまで測定可能 ・ ワークの判定基準値を登録しておくことによりOK,NGを自動判定します ・ ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください）   ・ 測定エリア：300×150mm～,その他ご要求による   ・ 測定方式：１軸スキャニング方式   ・ 使用可能レーザ変位計：三角測距、マルチレーザ同軸   ・ 分解能：　～0.003μｍ（Max) 【　　　　パンフレット　　　　】 （製作中）

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