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簡単な操作で反りを計測！
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変位センサを用いて非接触で反りを計測するシステムです。
微細な反りを３次元的に測定できます。
測定対象物の大きいものから小さいもの、あるいは厚いものからフィルムのような薄いものまで測定可能です。 |
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低価格にて高精度な測定を実現 |
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市販レーザ変位センサが使用できます |
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データ収集が高速 |
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非接触なので検査対象を傷つける心配がありません |
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透明体、あるいは鏡面体の測定が可能
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測定対象物による影響が非常に少ない |
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ご使用の対象物形状に合わせてシステム構築が可能 |
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また、貴社独自の反り定義仕様にてソフトを作成することが出来ます |
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ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください） |
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測定エリア：500×500mm～1000×1000mm,その他ご要求による |
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測定方式：ＸＹスキャニング方式 |
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使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸 |
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分解能： ～0.001μｍ（Max) |
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価格帯：６５０万円～ |
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ＸＹ軸門型でステージの小型化 |
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レーザー変位センサを使用して、ワークを固定
させ、センサを移動させながらワーク表面の高
さ方向の変位量を非接触で高精度に測定し、
専用ソフトで反り量を算出するものです。
測定対象物は、ウェハーから金属の研削加工品あるいは透明なガラスまで測定可能です。
ワークのOK,NGを自動判定する検査機仕様となっています。
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低価格にて高精度な測定を実現 |
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高速XYステージ、データ収集が高速 |
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非接触なので検査対象を傷つける心配がありません |
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測定対象物による影響が非常に少ない |
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ウェハーから金属の研削加工品あるいは透明なガラスまで測定可能 |
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ベースに石定盤を使用していますので、経年変化を最小限に抑えられます |
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多様な測定モードで高速に測定 |
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ワークの判定基準値を登録しておくことによりOK,NGを自動判定します |
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ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください） |
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測定エリア：200×200mm,300×300mm,その他ご要求による |
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測定方式：ＸＹスキャニング方式 |
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使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸 |
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分解能： ～0.001μｍ（Max) |
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価格帯：２８５万円～ |
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