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市販のレーザー変位センサに対応してます |
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トータル価格を抑えて高精度な測定を実現出来ます |
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非接触で、なおかつ測定テーブルはテフロン加工されてますので検査対象を傷つける心配が無く、スムーズな測定が出来ます |
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テーブルサイズはウェハーの８インチ（TTM1200)及び１２インチ(TTM1300)対応があります |
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センサを選ぶことにより透明体、あるいは鏡面体の測定が可能になります |
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小型で場所をとりません |
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ワークに対する直角度や光軸合わせが簡単に出来ます |
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Ｚ軸スライダー搭載により、測定範囲の狭い高精度センサーでも、ストレス無く基準距離の調整が出来ます |
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オプションにて、測定に便利なＰＣソフトや測定用小物が用意されています |
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測定テーブル：２３０×２００ｍｍ、３３０×３００ｍｍ |
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測定方式：手動にてワーク移動方式 |
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使用可能レーザ変位計：分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸、三角測距 |
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分解能： ～0.001μｍ（Max) |
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価格帯：１６万円～（センサは付いていません） |
