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TTS2100 非接触厚み測定装置 　レーザーセンサ挟み込み方式により厚みを計測！ 【　　　　機能概要　　　　】 レーザーセンサを測定対象物を挟み込むように配置する事により、可動部の影響を受けず 高精度に自動で測定する事が可能です。 レンズやフィルム、その他板状の製品の厚さを計る必要がある場合などに 本機は威力を発揮します。 【　　　　　特長　　　　　】 ・ 市販のレーザ変位センサが使用できます ・ 挟み込み方式のため高精度で安定した測定 ・ 非接触なので検査対象を傷つける心配がありません ・ 透明体、あるいは鏡面体の測定が可能 ・ 測定対象物による影響が非常に少ない ・ 自動測定で多彩な計測モードを用意 ・ ご使用の対象物形状に合わせてシステム構築が可能 ・ ワークに合わせて測定台等を製作いたします（ご相談ください）   ・  測定エリア：２インチ～１２インチ   ・  測定方式：スキャニング方式   ・  使用可能レーザ変位計：三角測距、共焦点、分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸   ・  分解能：　～0.001μｍ（Max)   ・ 価格帯：３８０万円～ 【　　　　パンフレット　　　　】 非接触厚み測定装置 (PDF 51KB)     　　TTS3100 非接触精密厚み測定機 　 【　　　　機能概要　　　　】 分光干渉方式レーザー変位計を使用して、ウェハの厚みを高精度に測定するものです。 シリコンベース上に蒸着された樹脂膜やPET等の厚みを個々に測定できます。 ワークのOK,NGを自動判定する検査機仕様となっています。 【　　　　　特長　　　　　】 ・ 最大１２インチのウェハの高精度な厚み測定を実現 ・ 測定が高速なので量産の全品チェックに適しています ・ 非接触なので検査対象を傷つける心配がありません ・ 測定対象物による影響が非常に少ない ・ ウェハーから金属の研削加工品あるいは透明なガラスまで測定可能 ・ ワークの判定基準値を登録しておくことによりOK,NGを自動判定します ・ その他自動測定、半自動測定あるいはワークサイズなどによりカスタマイズ承ります   ・ 測定エリア：２インチ～１２インチ以上可   ・ 測定方式：スキャニング方式   ・ 使用可能レーザ変位計：分光干渉レーザ、マルチレーザ同軸   ・ 分解能：　～0.001μｍ（Max)   ・ 価格帯：２８０万円～７００万円 【　　　　パンフレット　　　　】 非接触精密厚み測定機　　(PDF 291KB)

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